涂布設(shè)備基本技術(shù)
高精度薄膜涂布技術(shù)
模頭定位機(jī)構(gòu)
涂布間隙定位
特征
- 采用伺服電機(jī)高精度定位
- 滾珠螺桿無反向間隙
- 沒有發(fā)生塞子式的滯后現(xiàn)象
設(shè)定精度：1μm
重復(fù)再現(xiàn)精度：±0.5μm
涂布間隙定位